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iPV-3000

iPV3000 第三代光伏离子注入装备(2017-)维持皮带程度传送硅片和固态磷离子源改善的大束流浪子源,束流提拔40%增添图案化注入掺杂功效产能3000WPH。


iSolar  iPV3000特点:


高产能、低本钱

高密度束流零碎,束流密度>4.0mA/cm,完成装备产能3000WPH。接纳固态磷作为掺杂源,掺杂本钱0.3分/片(RMB)


兼容性强

传送方法简朴。无需修正任何硬件,完全兼容差别硅片厚度(120-200μm)和尺寸(156-161.75mm)


双离子源设计

包管装备高uptime。凭据客户需求,2个离子源可接纳差别的掺杂源,一步完成p型和n型差别地区的掺杂。


图案化注入功效

硅片自瞄准工艺包管瞄准精度,连系双离子源完成图案化注入。



外乡制造和效劳

周全质量治理消费,一流效劳质量。


iPV3000 产物参数:

注入离子 : P+, B+

注入能量: 5 to 15 keV

产能: 3000wph

尺寸 L x W: 5.7m x 2.5m


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