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离子注入

离子注入是经过对半导体质料外面举行某种元素的掺杂,从而改动其特征的工艺制程,在集成电路(IC)产业中获得普遍的使用。作为离子注入制程的配备—离子注入机,是先辈IC消费线上最要害的东西之一,每年环球拥有15-20亿美金的市场范围。


与热分散的掺杂手艺相比,离子注入手艺具有以下特点:单面准直掺杂、优越的掺杂平均性和可控性、掺杂元素的单一性,并且很容易完成掺杂地区的图形化。


这些特点给晶硅太阳能电池片的制造带来了热分散所不具有的劣势—不只可构成高质量的PN结、进步电池的转换服从,并且可大大简化多种高效电池的制造工序:通例电池的消费可以免却去磷硅玻璃和边沿刻蚀工艺;双面电池的消费则可免除掩膜工序;别的, 背打仗电池所必须的分区掺杂可免除瞄准工序,如许便大幅度低落了此类电池的制形成本。离子注入是进步电池服从、制造高效电池经济、牢靠的手艺。


别的,由于省去了比方磷/硼分散、去磷/硼硅玻璃以及边沿刻蚀等有毒排下班艺,以是离子注入又能明显低落电池片消费所形成的情况净化。


然则,IC离子注入机较低的消费率、昂贵的造价和重大的占空中积,使得离子注入手艺还没有在光伏家当上得以遍及使用。上海盈乐彩票代理半导体无限公司凭据太阳能电池工艺的现实情形和需求,为光伏家当量身订制了大束流浪子注入机—IonSolar。在硅片的传输和离子束流零碎上,IonSolar使用了多项拥有自主知识产权的打破性严重手艺:单一注入元素的“帘状”宽幅离子束可无中断地“淋浴”到匀速传输的单晶硅片上,完成稳固、平均的元素掺杂,并包管了高效的消费率和较低的制形成本,为太阳能电池的产线晋级和高效电池的消费提供了一条有用途径。


IonSolar 特点:

• 消费率高

IonSolar拥有延续送片功效,单机产能可达1800片/小时,使得一条消费线只装备一台机械成为能够,完全完成与现有产线产能的优越婚配。


• 占空中积小

IonSolar占地22m2,在不变动现有消费线结构的条件下完成手艺晋级。


• 制程本钱低

IonSolar制程本钱仅为同类产物的60%,投入低,投资接纳周期短。


• 外乡制造和效劳

西欧质量尺度,外乡化效劳,疾速高效。


上海盈乐彩票代理半导体无限公司由数位具有乐成开辟多代IC离子注入机履历的外洋着名专家团队建立。我们确立了“一丝不苟,千锤百炼”的企业文明;我们完成了高质量和功能的离子注入机的国产化;我们迈出了中国制造走上中国缔造之路的主要一步!


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