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公司旧事
报告科技提高奖公示
2015/4/20 13:59:14

项目称号
太阳能离子注入机

项目简介改造


盈乐彩票代理在2011年头就最先研发太阳能离子注入机,在2012年8月运入上海神州新动力的高效晶硅电池研发线。在上海市专项支持下(课题编号:12dz1100800),我们睁开了围绕着离子注入手艺的高效晶硅电池工艺的研发,鉴于N型电池需求在硅片正反外面都要掺杂,具无方向性离子注入掺杂工艺可以免除两道外面掩膜和去掩膜工艺,这不只低落了消费本钱,更主要的是服从和良率的大幅进步,盈乐彩票代理的工艺已完成N型PERT电池量产服从到达了20.5%,代表着行业的最高程度。


盈乐彩票代理自主开辟的太阳能离子注入机接纳了多项具有首创性的手艺,包罗: 1.离子源大束流引出手艺—间热式热阴极离子源;2.大面积离子束注入手艺—离子传输手艺;3.大面积离子束平均性调治手艺—质量剖析零碎;4.高速硅片真空通报手艺;5.大型主动化装备控制手艺;6. 实用于种种配备的软件开辟平台。


盈乐彩票代理接纳的手艺门路是在基于分散手艺的传统N型双面电池制造工艺的根底上,引入离子注入和叠层钝化等全新的焦点制造工艺,省去POCL3分散和等离子刻蚀等工序,以及厥后续的去PSG等相干附加工序。该手艺只需求在现有产线上增添离子注入和硼分散两种装备即可完成产线的疾速晋级,从通俗P型晶硅电池转向高效的N型双面电池消费,投资小,奏效快。


详细来说,太阳能离子注入机改善并举行配套电池工艺改进,确立配备的范围消费设备。凭据PERT和IBC电池需求两面掺杂的需求,新一代太阳能离子注入将增添了双面离子注入的功效,一次工艺即可完成硼和磷的两面掺杂,进一步简化工艺步调,掺杂本钱低落一半。


为了完成双面同时注入,一个束流零碎在注入靶子的下面,另一束流零碎在靶子的上面。但靶子上面的空间很无限,没法包容一具有离子质量剖析器的束流零碎。为此需求开辟了新一代的高温等离子体离子源,连系盈乐彩票代理已有的帘状宽幅束流零碎,去除重金属的零部件而发生充足纯的离子,在没有经由质量剖析器就间接注入到电池硅片上。经由严酷的工艺验证,这种注入方法完全实用于N型电池的后头的掺杂而不形成电池功能改动。别的,若何将该离子源与各零碎集成,构成一贸易样机,进入消费线举行工艺和量产才能的验证,也是该产物的开辟重点。经过太阳能离子注入机的改善并举行配套电池工艺改进,完成60片电池组件功率从250W提拔到290W,然后至300W。


知识产权情形
现在,曾经取得的用于太阳能离子注入机上的中国发现专利合计26项。

发现称号

请求日

请求号

机器扫描工件的安装

2009-12-25

200910200781.8

束流密度漫衍和角度漫衍丈量安装及方式、束流控制方式

2009-12-31

200910248007.4

离子注入零碎及方式

2010-02-05

201019063015.1

离子注入方式

2009-12-18

200910201397.X

离子注入零碎及方式

2010-03-24

201010131679.X

在离子束引出后改进束流流强漫衍的零碎和方式

2009-09-17

200910195845.X

离子注入零碎及方式

2010-04-29

201010166482.X

离子注入零碎及改进束流流强和角度漫衍的方式

2009-12-18

200910201388.0

离子注入安装及方式

2009-12-18

200910201387.6

离子注入零碎及方式

2010-03-18

201010157012.7

真空传输制程装备及方式

2010-07-09

201010223105.5

真空制程装备、真空传输制程装备及方式

2010-09-07

201010274744.4

真空传输制程装备及方式

2010-09-30

201010500745.6

真空传输制程装备及方式

2010-09-07

201010274734.0

离子束传输安装

2009-12-31

200910248008.9

束撒播输零碎及方式

2010-07-09

201010223083.2

真空传输制程装备及方式

2010-10-26

201010520962.1

真空传输制程装备及方式

2010-09-03

201010273283.9

真空挪动安装及方式

2010-07-23

201010234547.X

离子注入零碎及方式

2010-08-17

201010254629.0

离子注入装备及方式

2010-11-30

201010566304.6

离子源安装

2010-12-03

201010572142.7

束撒播输零碎及方式

2009-12-25

200910200780.3

束撒播输零碎及其传输方式

2011-04-22

201110102596.2

热阴极离子源零碎

2011-07-19

201110202481.0

离子注入零碎及方式

2010-03-18

201010157013.1

次要完成单元
上海盈乐彩票代理半导体无限公司

次要完成人
陈炯 陈维 洪俊华 Jeff boeker  王懿喆 沈培俊 金灿烂 金浩 王宇琳 陈守俊 黄丽 杨立军 张晓峰 黄会刚 潘志龙 杨勇 


上海盈乐彩票代理半导体无限公司

2015年4月20日


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